石英玻璃的脫羥工藝技術(shù)及裝備

羥基在石英玻璃中是一種有害的非金屬雜質(zhì)，它可降低石英玻璃的耐溫性，羥基含量1200×10^-6時(shí)降低軟化溫度70℃，對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)用石英玻璃有一定影響，在電光源石英玻璃中，羥基在高溫下擴(kuò)散出來使燈中的鹵化物變質(zhì)，電極氧化中毒，嚴(yán)重時(shí)會(huì)造成熄弧，影響燈的使用壽命。所以連熔石英玻璃要在真空中改為煅燒，消除羥基，稱脫羥。

羥基工藝有三中形式：①在空氣中進(jìn)行煅燒，因?yàn)榭諝庵泻�水，所以只能清除亞穩(wěn)定羥基，脫羥基裝備可采用隧道窯，推板窯或者箱式電爐，電加熱，最高溫度1000℃，脫羥后殘留穩(wěn)定型羥基含量在20×10^-6左右；②在脫羥爐中通高純N²【N₂經(jīng)過提純，含水量為（1~2）×10^-6】，脫羥設(shè)備可采用推板式電爐和箱式電爐，爐門必須密閉，爐子底部留有進(jìn)N₂口，爐子頂部留有出N₂口，整個(gè)脫羥過程不斷送入高純N₂.最高溫度1100℃；③真空脫羥采用擴(kuò)散泵抽真空，真空度為，5×10^-3Pa，采用分子泵抽真空，真空度可達(dá)1×10^-4Pa，爐子性能見下表。